“十五”期间，通过863计划、科技攻关计划支持了一批国家重点行业急需的制造业装备的开发，提高了部分行业制造装备的自主创新能力。

集成电路装备获得突破

科技部、北京市和中电集团等有关企业共同投入研发资金，研制出适合8英寸硅片100nm工艺微电子芯片制造关键设备、高密度等离子体刻蚀机和大倾角注入机试生产样机。该样机在去年已进入生产线进行生产考核，实现了我国高端集成电路核心设备零的突破。样机的进一步产业化将使未来2～3年我国IC制造业从180/130nm向90nm升级时，有可能使用上国产装备。

100nm分辨率148nmArF准分子激光步进扫描投影光刻机，是科技部、上海市与上电集团共同投资进行研发的高难度重大项目。该项目在大规模产学研联合攻关中，一些难度极高的部件采取国际合作方式，目前正处于分系统验收、内外配套件集成并总装的阶段，有望在今年底完成。

高档数控系统取得进展

经过“十五”前各类科研项目的支持，我国中档以下数控系统的国产化率已超过50%，“十五”期间科技项目支持的重点是高档数控系统的研发。

第一，我国研制并生产了十多台为东方汽轮机厂开发的加工60万千瓦汽轮机、40英寸大型叶片用五轴联动大型叶片加工中心，加工精度与加工效率可与进口瑞士同类机床相当。

第二，研制成功大型舰船螺旋桨用重型七轴五联动车铣复合加工机床。可实现螺旋桨的一次装夹多表面的加工。该项目研发的技术，还可为发电装备的大型叶片、转轮等五轴加工提供共性加工技术。

第三，面向飞机大型板类件加工的横梁移动式龙门五轴加工中心广泛适用于大型模具的生产，尤其适用于航空航天工业设备中的有色金属、轻合金材料及难加工材料如钛合金、铬镍合金的机械加工，是复杂空间曲面零件(如蜗轮、叶片、螺旋桨以及飞行器)加工必须的重要装备，目前国内此类设备完全依赖进口。“十五”期间，我国自主研制的横梁移动式龙门五轴加工中心问世，并获得了第十届中国国际装备制造业博览会金奖。

第四，光学非球曲面超精密磨削技术及设备研究项目研制成超精密铣磨纳米加工设备。超精密铣磨加工技术由于涉及尖端武器的制造，发达国家一直对这项技术及相应产品采取禁运限制，研制的设备为我国军工及航空航天工业所需的光学玻璃非球曲面加工、微晶玻璃、铁氧体等材料零件提供了加工设备。

部分能源装备实现自主研发

“十五”期间，科技部安排了兆瓦级风电机组研制，自行研制的1兆瓦级变桨距双馈式变速恒频和1.2兆瓦无齿轮箱直驱永磁两种风力发电机组于2005年实现并网发电。目前，1.2兆瓦风电机组已在30万千瓦风电场项目中中标。这两种大型变速恒频风电机组，为我国在2010年实现风力发电装机达500万千瓦提供主力机型。

另外，新型水煤浆气化技术经过国家科技计划的连续支持取得突破。“十五”期间，对我国自主开发的多喷嘴对置式水煤浆气化技术进行了改进，并在兖矿集团建成了1150吨/天新型水煤浆气化炉工业示范装置，实现一次投料成功。该项目打通了整个工艺流程，为煤的洁净高效利用提供关键技术、核心技术。

工程机械技术竞争力提高

在工程机械方面，我国掌握了液压、刀盘、测控及系统集成等土压平衡盾构机的关键技术，成功研制出6.34米国产土压平衡盾构机2台，并在上海地铁施工中得到了实际应用，并有20多台已经中标，将陆续投入使用。国产土压平衡盾构机价格只有德国进口盾构机的二分之一，日本盾构机价格的三分之二。

“十五”期间，科技部支持了徐工、三一重工、天津工程机械等企业研制的用于高等级公路路面施工的智能化工程机械已完成现场试验；支持中联、柳工、厦工、郑州大方、鞍山机械、山东临工、湖南三河等企业技术创新，自主设计制造了再生重铺、超大型运梁车、路面铣刨机、旋挖钻孔机、混凝土泵车、挖掘机、振动式压路机、装载机等单机智能工程机械，提高企业的技术竞争力。

乙烯裂解炉达到国际先进水平

裂解炉是乙烯工业的关键设备，工艺技术方案为双辐射段、高选择性2-1型炉管、线性急冷锅炉或二级急冷、对流段采用一次注汽工艺，并在对流段设有超高压蒸汽过热段。单炉生产能力为乙烯15万吨/年(年操作8000小时)，裂解炉热效率≥93%，单程乙烯收率≥29.5%，炉子运转周期≥80天，可适应乙烷至加氢尾油原料。裂解炉选择性高、转周期长、热效率高，性能达到国际先进水平。

镁合金压铸装备主体实现国产化

镁合金具有强度高、质量轻等特点，是未来轻金属应用重要方向。“十五”期间，镁合金压铸装备水平上了一个台阶，主体设备实现国产化。通过攻关，开发了压铸成型装备、镁合金熔炉系统、废料再生系统、压铸机周边辅助设施，基本形成我国具有自主知识产权的镁合金成型装备的生产体系。成功研制开发了具有自主知识产权的镁合金冷、热室压铸机及配套设备，形成了从160吨到3000吨11种规格产品，并实现了工业应用，填补了国内镁压铸成型装备的空白，部分替代进口，成为国内镁合金产业化的重要支撑，目前在国内市场占有率达到40%。

“十一五”振兴装备制造业工作重点

国务院于2005年发布了《国家中长期科学和技术发展规划纲要》，明确了未来15年科技发展的主要工作和思路。在《国家中长期科学和技术发展规划纲要》中列入的16个国家重大专项中有两个目标完全是重大装备的研发与产业化，即集成电路制造装备与高档数控设备。在列入的有关信息、能源、制造、交通等领域的62个优先主题中有32个涉及制造装备的研发，充分体现了国家科技中长期规划对发展装备制造的重视。

“十一五”振兴装备制造业的大好时机。我部将积极落实《国家中长期科学和技术发展规划纲要》和《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》的精神。配合国家“十一五”发展规划，通过863计划等国家科技计划形成重大应用牵引、关键技术突破和推动产业应用相结合的研究开发体系，重点支持前沿技术的研究开发，提高自主创新能力。研究开发的重点方向主要有：以重大基础制造装备为突破口，重点开发航空航天、船舶、汽车、发电设备等制造业需要的高档数控机床与基础装备，重点解决一批重大特种装备和成套装备、高技术装备、关键材料和关键零部件的自主开发和产品化；围绕绿色制造和资源循环利用，研究开发相关的制造共性技术，掌握关键技术；结合发展具有自主知识产权的重大装备，开发和应用数字化设计、数字化制造、先进制造工艺与装备技术。