我国研发全球最薄气压计,基于业界最先进的单芯片集成MEMS技术,使其成为全球唯一一款针对消费电子的CMOS-MEMS单芯片集成气压计。
光学MEMS技术自上世纪80年代左右起步以来,基于MEMS技术而研制的一大批光学仪器,为光学产业及仪器仪表产业发展带来了新的发展动力和机遇。
近日又有一款基于MEMS技术的全球领先产业于国内诞生,中国科学院西安光学精密机械研究所与其参股公司丽恒光微电子科技有限公司共同宣布,联合推出全球最薄气压计PS2606。
气压计PS2606是全球唯一一款针对消费电子的CMOS-MEMS单芯片集成气压计,整个传感器厚度仅为0.65毫米。产品以业界最先进的单芯片集成MEMS技术,具有测量精确度高、系统稳定性好、抗干扰能力强、低功耗、体积小等优点。该气压计还拥有完全自主知识产权,是国产传感器的杰出代表。其中CMOS-MEMS单芯片集成传感器技术-CeMEMS,是丽恒光微独创的,包括已授权和获准申请专利超过160件。
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